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真空系統是由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統，目前，該系統廣泛應用于電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業。
該真空系統出廠時已經包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數據顯示、運行保護及遠程控制接口等，只需要在現場進行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空系統，該真空系統的控制系統由先進的PLC控制系統經過編程后組成，以觸摸屏為人機界面,實現對真空系統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護系統等的全自動化控制。
真空系統自啟動后，全部運行過程可以實現全自動控制。在工作中，真空系統內各處的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始終在其允許范圍內上下波動，其波動范圍可根據用戶要求進行調整。使用螺桿真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環真空泵真空系統能達到最佳流程工藝。
第一臺真空泵啟動后達不到設定所需真空時第二臺真空泵啟動至達到設定的真空值。當達到所需設定值后第一臺真空泵停止接著第二臺真空泵停止循環工作。我司的真空系統可在無人操作情況下對系統進行自動控制，在停電時可自動封閉真空系統。同時控制箱可以保護真空泵馬達過載及短路。
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